Термовакуумне випаровування

Вивчення технологічного процесу нанесення покриттів методом термовакуумного випаровування

Вакуумна установка термічного випаровування (рис. 1) складається камери, закритої від навколишньої атмосфери піднімальним металеви ковпаком 12, робочої плити 18, відкачуїшьної вакуумної системі підковпакового пристрою для кріплення деталей, на які виконуєтьі напилювання, і їхнього обертання, вииаромунальииків 5 і пульту керувант роботою вузлів і агрегатів установки. Для спостереження за ходом процесу напилювання в ковпаку є ілюмінатор 7.

При завантаженні і вивантаженні деталей ковпак за допомого гвинтового механізму чи гідроциліндра піднімається вверх і відводиться сторону, звільняючи підковпачний пристрій для роботи оператора. У верхи частині ковпака встановлені кварцові лампи 9 з рефлекторами 8, п забезпечують нагрівання підкладок до температури 100—320 °С иер< напилюванням плівок, і освітлювач 10 фотометричного пристрою. Підігр підкладок поліпшує адгезію і механічну міцність плівки. Місце стику ковпаке робочою плитою герметизується гумовим ущільнювачем 17.

Система відкачки повітря складається з форвакуумного насоса попередньої відкачки, дифузійного високовакуумного насоса 22, систен, клапанів, пасток і трубопроводів. Для розгерметизації ковпака по закінчен процесу служить кран-натекатель 4.

Напилюванні підкладки 13 і зразок-свідок 11 для контролю товщиі плівки в процесі напилювання встановлюють в отвори пристосування 14. Д. поліпшення рівномірності товщини плівки пристосування 14 обертається частотою 20—100 об/хв на роликових опорах. Привід обертані пристосування здійснюється через конічний ролик 16 і безконтакті електромагнітну муфту 19, розташовану на робочій плиті установки.

clip_image002

Рисунок 1 Схема вакуумної установки нанесення покриттів методом термічного випаровування

Технологічний процес нанесення покриттів у вакуумі поєднує ряд операцій, виконуваних в визначеній послідовності.

Підготовка установки до роботи включає очищення поверхні ковпака і плити від забруднень, адсорбованих газів і вологи.

Завантаження плівкоутворювальної речовини здійснюється в металеві контейнери («човники») невеликого обсягу 0,2—3 см’. Розігрівають речовину за рахунок виділення теплоти при проходженні через контейнер електричного струму великої сили. Як плівкоутворювальні речовини використовують метали, окисли й інші хімічні сполуки, здатні утворювати плівки з заданими оптичними властивостями і з порівняно невисокої температурою розплавлювання.

Далі йдуть операції очищення, розрідження, випаровування.

В кінці проводиться розгерметизація камери.

Термічним випаровуванням в вакуумі одержують всі типи оптичних покрить з великого числа речовин з різними властивостями. Процес високопродуктивний, можливий контроль товщини в процесі напилювання, що дозволяє наносити на деталі багатошарові покриття з заданими стабільними властивостями. До недоліків пронесу можна віднести обмеження по використанню тугоплавких матеріалів як плівкоутворювальних речовини, що звужує область вибору покриттів.

Оставьте комментарий к статье